反应溅射的读音:fǎn yìng jiàn shè
反应溅射的拼音:fan、ying、jian、she
反应溅射的简拼:FYJS
反应溅射的首字母:F
反应溅射的首字拼音:fan
分字拼音:反的拼音 射的拼音 应的拼音 溅的拼音
反应溅射是指在存在反应气体的情况下,溅射靶材时,靶材会与反应气体反应形成化合物(如氮化物或氧化物),在惰性气体溅射化合物靶材时由于化学不稳定性往往导致薄膜较靶材少一个或更多组分,此时如果加上反应气体可以补偿所缺少的组分,这种溅射也可以视为反应溅射。
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